特种气体，又称Specialty Gases，是为满足特定工业需求而制备的高纯度、高稳定性的单一或混合气体产品，广泛应用于半导体、医疗、新能源、显示面板等高新技术领域，被誉为“电子工业的血液”。自20世纪60年代中期兴起以来，随着新材料与精密制造技术的发展，特种气体已成为现代工业体系中不可或缺的关键基础材料。

在半导体制造中，特种气体发挥着核心作用。从薄膜沉积、刻蚀到离子注入，几乎每一道工艺都离不开高纯气体的参与。例如，硅烷（SiH₄）用于化学气相沉积（CVD）形成硅薄膜；三氟化氮（NF₃）则用于等离子清洗；而磷烷（PH₃）、砷烷（AsH₃）等剧毒气体则作为掺杂源改变硅片导电性能。这些气体纯度要求极高，通常需达到6N级（99.9999%），杂质控制精确至ppb甚至ppt级别，稍有污染即可能导致芯片失效。

除电子产业外，特种气体在医疗领域用于临床诊断与麻醉，在食品行业实现气调保鲜，在环保监测中作为标准气体校准仪器，应用日益广泛。据资料显示，2011年我国特种气体行业产值已达296.88亿元，2006年后年均增速超过17%，进入快速发展期。然而，国内150余家生产企业多为中小规模，市场约70%份额由林德、液化空气、空气化工等外资企业占据，高端市场仍依赖进口。

特种气体具有易燃、易爆、有毒、腐蚀性强等危险特性，如硅烷遇空气易自燃，氯气、氟化氢具强腐蚀性，砷化氢毒性堪比百日咳毒素。因此，其生产、运输、储存与使用必须严格遵循安全规范：专车运输、佩戴瓶帽、严禁混装、设置专用气瓶库，并配备泄漏报警与应急处理系统。根据性质不同，可将其分为不反应类、反应类、腐蚀类和不稳定类，保质期从6个月至36个月不等，需分类管理。

当前，在“双碳”战略与高端制造国产化推动下，我国特种气体迎来发展新机遇。电子特气在晶圆制造成本中占比高达13%-14%，而目前国产化率仅约10%，替代空间巨大。未来，提升自主创新能力、突破高纯制备与检测技术瓶颈，构建安全、稳定、高效的供应链体系，将成为民族气体工业崛起的关键路径。