氦气作为重要的工业气体，在半导体、新能源、航天等领域发挥着关键作用。为确保设备密封性和氦气纯度，精准的检测技术不可或缺。本文介绍氦气检测的核心方法及其应用，助力不同场景下的高效检测需求。

一、氦气泄漏检测：氦质谱检漏技术

氦质谱检漏是工业中最常用的泄漏检测手段，其原理基于氦气的高渗透性和质谱仪的离子分离能力。主要分为两类：

1. 真空检漏法：将被检件抽真空后，外部喷氦气。若存在漏孔，氦气进入真空系统，质谱仪通过检测氦离子信号定位泄漏点。该方法灵敏度极高，如航天器检测的漏率可达5×10⁻¹³ Pa·m³/s。

2. 正压检漏法：向被检件充入氦气加压，利用吸枪或包裹法在外侧检测逸出的氦气，适用于高压容器检测。例如，动力电池PACK系统通过真空箱法验证IP67防护等级，漏率要求≤10⁻⁶ mbar·L/s。

二、氦气纯度检测：色谱与光谱分析技术

高纯氦气的纯度直接影响应用效果，其检测需精准识别杂质成分：

1. 色谱分析法：利用色谱仪分离并检测氦气中的痕量杂质。例如，通过变温浓缩技术预富集杂质，再以热导池检测器分析，可测定ppm级杂质含量。该方法需高纯载气（如纯度≥99.999%的氦气）与精密色谱柱。

2. 氦离子化检测器（PDHID）：基于脉冲放电原理，电离氦气中的杂质分子，通过测量离子信号实现ng/g级检测。PDHID适用于高纯气体质控，具有非放射性、高通用性优势，满足GB/T3634.2等国际标准。

三、技术发展与场景适配

1. 工业应用优化：新能源领域采用氦罩法自动化扫描电池焊缝，半导体行业以背压法保障晶圆腔体密封（漏率≤5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s）。

2. 替代技术探索：为缓解氦气稀缺，广舜检测开发电解液示踪技术替代传统氦注入，降低检测成本。

3. 智能化升级：雅马哈机器人直连系统与MES集成，实现自动化检漏数据管理。