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混合气体(六氟化硫+高纯氧+三氟甲烷)对硅材料的反应离子刻蚀研究
采用统计实验方法研究了利用混合气体(六氟化硫+高纯氧+三氟甲烷)产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技...
2024-02-20 넶 327 -
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