四氟化碳（CF₄）是一种无色、无味、不燃的压缩气体，具有化学稳定性高、临界温度低等特性，广泛应用于微电子工业等离子蚀刻、低温制冷、气相绝缘等领域。由于其物理化学性质特殊，储存与操作需严格遵循安全规范，以避免泄漏、容器损坏或健康危害。以下从储存条件、操作规范、安全防护、应急处理等方面详细说明：

一、储存条件与要求

1. 储存场所

四氟化碳需储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房，远离火种、热源（如明火、暖气、阳光直射），库温严格控制在30℃以下（部分资料建议不超过50℃，以最严格标准执行）。库房需配备良好的自然或机械通风系统，确保空气流通，防止气体泄漏积聚。

2. 存放要求

○ 隔离存放：与易燃/可燃物（如汽油、酒精）、强氧化剂（如高锰酸钾）分开存放，间距不小于5米，避免混储引发化学反应。

○ 钢瓶管理：钢瓶需直立固定，防止倾倒；空瓶与满瓶分区存放，验收时核对品名及验瓶日期，遵循“先进先出”原则。

○ 标识与检查：储存区张贴“不燃气体”“远离火源”等警示标识，定期检查钢瓶阀门、压力表及密封性，确保无泄漏。

3. 容器要求

使用专用四氟化碳钢瓶，瓶身需符合《气瓶安全监察规程》标准，配备安全帽和防震圈。禁止使用受损或过期钢瓶，搬运时轻装轻卸，避免剧烈碰撞导致瓶体破损。

二、操作处置规范

1. 操作环境

密闭操作并全面通风，操作人员需经过专业培训，熟悉气体特性及应急流程。工作场所禁止吸烟，避免使用易产生火花的工具（如铁质扳手），防止静电或高温引发气体泄漏。

2. 操作要点

○ 防止泄漏：连接钢瓶与设备时，确保接口密封良好，缓慢开启阀门，避免压力骤升。操作过程中监测泄漏情况，可用肥皂水检测接口处气泡。

○ 温度控制：钢瓶避免接触极端温度（低于-30℃或高于50℃），禁止用火烤或电加热钢瓶以增加压力。

○ 限量操作：高浓度环境（如罐、限制性空间）作业时，须两人以上同行，配备监护人员，作业时间不宜过长。

三、个体防护措施

1. 呼吸系统防护

一般操作无需特殊防护，高浓度接触或缺氧环境（氧气含量＜19.5%）时，必须佩戴自给正压式呼吸器或自吸过滤式防毒面具（半面罩），禁止使用空气净化呼吸器（无法防护缺氧）。

2. 眼睛与身体防护

佩戴安全防护眼镜，防止液体飞溅（如钢瓶泄漏导致的低温冻伤）；穿一般作业工作服，接触低温液体时加穿防渗透防护服；手部戴耐低温防护手套，避免直接接触泄漏的液态四氟化碳（沸点-128℃，可能导致冻伤）。

3. 其他防护

作业后及时清洗手部，避免高浓度吸入。进入密闭空间前，需用氧气检测仪确认环境安全，必要时进行强制通风。

四、应急处理措施

1. 泄漏处理

○ 人员撤离：立即撤离泄漏污染区人员至上风处，隔离污染区，限制出入。

○ 切断气源：若泄漏来自钢瓶，关闭阀门；若来自用户系统，需泄压后用惰性气体（如氮气）吹扫管道。

○ 通风扩散：开启排风系统，加速气体扩散，必要时使用喷雾状水稀释（四氟化碳微溶于水，不可用水直接喷射钢瓶）。

2. 急救措施

○ 吸入中毒：立即将患者转移至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，若呼吸困难给予吸氧，症状严重者送医治疗。

○ 冻伤处理：皮肤接触低温液体后，用温水（40~42℃）缓慢复温，禁止揉搓或用热水浸泡，及时就医。

3. 废弃处置

四氟化碳属于危险废物，废弃钢瓶需由专业机构回收，严禁随意排放。处置前需确认瓶内气体已安全排空，瓶体经检验合格后方可重复使用或报废。

五、稳定性与环境影响

四氟化碳化学性质稳定，但受热（如高温火灾）会分解产生氟化氢（HF），具有强腐蚀性，需避免接触火源。此外，其温室效应潜能值（GWP）极高，是二氧化碳的6500倍，储存和使用过程中需减少排放，符合环保要求。