四氟化碳（CF₄），又称四氟甲烷、R14，是一种重要的卤代烃，兼具无机与有机特性。其无色无味、化学稳定性高，在微电子、制冷、激光等领域应用广泛。为满足不同行业需求，四氟化碳衍生出多种规格，以下对其核心参数及应用进行解析。

一、规格参数分类

1. 纯度等级：

○ 工业级：纯度≥99.99%，适用于基础制冷、润滑及金属冶炼。

○ 电子级：纯度≥99.999%至99.9999%，满足半导体等离子刻蚀需求，确保精密器件加工无残留。

2. 包装形式：

○ 钢瓶包装：常见10L、47L规格，配备CGA660阀门，便于运输与存储。

○ DOT钢瓶：尺寸如23×130cm，材质为316L不锈钢，保障高压安全性。

3. 物理特性差异化：

○ 低温制冷剂规格：沸点-128.1℃，临界温度-45.5℃，用于超导设备冷却。

○ 等离子刻蚀规格：高纯气体经精密除杂，适配硅、二氧化硅薄膜刻蚀工艺。

二、应用领域细分

1. 半导体行业：电子级四氟化碳与氧气混合，实现硅晶片45:1选择性刻蚀，是芯片制造核心气体。

2. 激光技术：作为激光介质，其稳定性保障光束精准传输，应用于医疗设备及科研仪器。

3. 低温工程：高纯度CF₄用于磁悬浮列车超导系统，维持极低温度环境。

4. 工业清洗：非腐蚀性特性使其成为精密电子元件清洗剂，替代传统有害溶剂。

三、安全与存储规范

● 存储于阴凉通风库房，温度≤30℃，远离火源与氧化剂。

● 钢瓶运输需轻装轻卸，避免剧烈碰撞。

● 泄漏处理：佩戴正压呼吸器，切断气源并通风稀释，避免高浓度窒息风险。

● 注意环保：CF₄为强效温室气体，使用后需合规回收，减少排放。