十堰高纯气体管道十堰高纯氦气检漏方法

1.十堰高纯散装气体管道十堰高纯氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。

2.向内检漏法（十堰高纯氦气注入法）是通过内部吸入十堰高纯气体管线，外部喷射十堰高纯氦气来进行的。

3.检测阀座泄漏的方法必须在阀门前充入十堰高纯氦气，并在下游抽真空。

4.必须使用朝外检漏法（吸枪法）在十堰高纯气体管线内填充十堰高纯氦气或氦氮混合物，并使用外部吸枪检查可能的泄漏点。

5.氦检漏仪必须是质谱氦检漏器，检测精度不低于1

6.十堰高纯气体十堰高纯氦气检漏的泄漏率应符合下列要求：

6.1通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s；

6.2阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s；

6.3向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

7.氦检漏发现的泄漏点修复后，必须重新进行气密性试验，合格后，再按规定进行氦检漏。

8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热。

9.系统测试后，用十堰高纯氮气或氩气填充和清洁。

10.检查后，应提交试验报告。