电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。

在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%,虽然看似占比不大,但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级,都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例,将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路,除了要解决普通气态杂质的纯化问题,还要将金属元素净化到10-9级和10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口,以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术的研究开发工作不够重视。 目前部分产品已经获突破,国产化率在30%。

目前国内在高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气等已经突破,高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等也突破在即。半导体8英寸上的特种气体国产化率已经达到30%以上。但本土电子气体的生产和供应商规模较小,不能够为用户提供全方位的服务,目前大多通过低价竞争的方式占领一点市场份额,利润很薄,甚至亏损。且知识产权的保护形同虚设。