六氟乙烷又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是卤代烃（化学式：C2F6），亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。

六氟乙烷常用于半导体的生产，主要用于一种具多功能的蚀刻技术，它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷还可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

六氟乙烷的制备方法主要有一下几种：

1、电化学氟化法，乙炔、乙烯或乙烷在点解条件下氟化。

2、热解法，通过四氟乙烯和二氧化碳之间的热分解反应制备。

3、金属氟化物氟化法，如乙炔、乙烯和乙烷与金属氟化物进行反应。

4、氟化氢催化氟化法，催化剂存在下氟化全卤代乙烷化和物。以生产五氟乙烷过程中产生的副产物与氯气为原料，光化法生成五氟一氯乙烷，制得的五氟一氯乙烷与氟化氢通过液相氟化锑催化制备六氟乙烷。

5、直接氟化法，活性炭、乙炔、乙烷和五氟乙烷等气体直接与氟气反应。