氨气是一种是一种无色气体，有强烈的刺激气味的气体。尽管氨气具有腐蚀性，但是氨气的用途非常广泛。氨气最大的用途就是当做化肥的原料，它成为世界上产量最多的无机化合物之

一。但除此之外，氨气也有其他用途。比如液氨制冷、作为火箭的燃料、玻璃清洁剂、生产硝酸等等。

目前有台湾学者孙德钧对氨气的新用途展开研究，在成长氮化铝成核层前运用预通氨气技术氮化蓝宝石基板表面，使用预通氨气技术之发光二极体与一般型发光二极体皆已被成功制作；

运用预通氨气技术制成之发光二极体其电特性、光特性与ESD 抗受能力之效应也皆已被探讨。我们在实验中发现，利用了预通氮气技术的发光二极体在缺陷的数量上有明显的下降。主要

是由于预通氨气形成氮化蓝宝石基板，能使得成长成核层时降低成长种晶的难度，进而达到有效降低缺陷之目地。实验结果显示，运用预通氨气技术成长之发光二极体于350mA 下有较

低的顺向偏压。且传统制程在反向5伏特下的电流值为72.4nA，而利用氮化表面后的蓝宝石基板成长发光二极体发现其电流降至43.8nA。相较于一般发光二极体而言，使用预通氨气技术

可有效降低缺陷密度进而提升发光效率，并对ESD 耐受性有大幅提升，在施加反向电压至3000V时仍有80%的存活率。