硅烷气体是1857年发现的，在之后100年左右的时间里，在工业生产中几乎没有任何用途。直到20世纪50年代，由于半导体技术的发展，它才开始在电子工业生产中得到应用。20世纪80年代半导

体工业迅速发展，硅烷气体用量才迅速上升。1984年国际硅烷气体市场的销量为70t，1986年增加到110t，每年以12%～15%的速度递增。1990年全世界硅烷气体销量为240t。我国对硅烷气体的

应用起步较晚，目前每年消耗量约数十吨。

随着一系列新技术、新产品的开发应用，除微电子工业外，硅烷气体已经成为信息、新材料、能源和环境科学的基础原料，是许多未来产业所必不可少的。它在现代科学和现代工业中的地位显得十分重要。