液氧氧气高纯氧气02的化学参数

中文名：氧气

英文名：Oxygen

别名：氧气(医用)、液氧、高纯氧、氧

英文别名：CAL-MAT AIR、AIR、Air, refrigerated liquid (cryogenic liquid)COMPRESSED AIR, BREATHING AIR、1-(5-0-phosphono-beta-D-ribofuranosyl)-1H-imidazol-5-amine

CAS：7782-44-7、132259-10-0

EINECS：231-956-9

化学式：C8H14N307P

分子量：295.186

InChlnCh11/C8H14N307P/c9-5-1-10-3-11(5)8-7(13)6(12)4(18-8)2-17-19(14,15)16/h1,3-4,6-8,12-13H,2,9H2,(H2.14,15,16)/t4-,6-,7-.8-/m1/s1

密度：2.16g/cm

熔点：-218°C

沸点：774'C at 760 mmHg

闪点：421.9°C

蒸汽压：3.27E-25mmHg at 25°C

折射率：1.776

物化性质：性状 无色透明、无皇、无味的气体。相对密度 1.429(0℃C)、溶解性 不易溶于水，微溶于醇。

产品用途：用于金属的切割和焊接、炼钢、医疗、国防、电子、化工、冶金等部门

高纯氧气体主要用于半导体器件的热氧化、扩散、化学气相沉积及等离子蚀刻等工艺，还可用于光导纤维、彩色显像管制造并作标准气、校正气和零点气等。作为氧化源与产生高纯水的反应剂。对于MOS场效应器件，氧化层必须相当致密，采用高纯氧气进行干法氧化，其氧化层结构致密正电荷少，耐压高，能满足生产需要。与四氟化碳混合，可用于等离子刻蚀。