六氟化硫气体本身是无毒的，在常温、常压下为气体，无毒、无色、无味。但是在工业生产中会产生大量的有害气体，对人体和电极都有害。

六氟化硫气体在高浓度下会使人呼吸困难、喘息、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。所以当六氟化硫气体发生大量泄漏时，首先所有人员应当立即撤离，打开所有的通风设施；且需要采取紧急防护措施，撤离气体泄漏现场，立即报告上级。当发生人员中毒时，应立即将人员撤离现场,转移到通风良好处休息，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医。

开启通风设施20分钟以后需要佩戴防毒面具或者空气呼吸器才能进入，经过四个小时以上的充分排风并用仪器检测六氟化硫气体浓度合格后相关人员才准进入。

当设备防爆膜发生破裂时，需要停电处理；喷出的粉末需要清理干净，且需要用丙酮或者汽油将破裂处擦拭干净。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。