一氟甲烷HFC-41是什么化学气体

高纯一氟甲烷HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气，它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜，可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。

产品信息概括

化学名称：一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、FC-41、R41

CAS号：593-53-3

ODP：0

GWP100年：150

化学名称：一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、HFC-41、

R41

结构式：CH3-F

分子式：CH3F

分子量：34.03

沸点(℃)：-78.4

凝固点(℃)：-142

临界温度(℃)：44.5

蒸汽相对密度(空气=1)：1.2

液体相对密度(水=1)：0.61

蒸汽压(20℃，bar)：33

空气中的可燃范围(%vo1)>5.6

包装规格:4.64L/10.2L/44L 钢瓶