高纯氢在半导体行业中,大规模和超大规模集成电路的制作过程中需要大量的高纯氢甚至超高纯氢作为配制SiH4/H2等混合气的底气。另外,高纯氢在制作电子管的阳极、阴极、栅极等器件时,必须使用纯氢进行专门的烧氢处理。此外,高纯氢也在电子工业中用于半导体、电真空材料、硅晶片的生产。非晶硅太阳能电池的主材非晶硅膜制造时要采用体积分数在99.999%以上的氢和硅烷的混合气。

对于光导纤维,其主要类型是石英玻璃纤,在光纤预制棒、光缆和光电元器件的制造过程中,均需氢氧焰加热(1200-1500℃),对氢气的纯度和洁净度的要求都很高。例如,在制造非晶硅太阳电池中,也用到纯度很高的氢气。在光导纤维的应用和开发过程中,石英玻璃纤维需经数十次沉积,对氢气纯度和洁净度都有很高的要求。因此,可以说高纯氢在半导体行业中的光导纤维应用中扮演了重要角色。

高纯氢在电子工业中有重要作用。例如,在电真空材料如钨、钼的生产过程中,高纯氢被用来还原氧化物成粉末,再加工成线材或带材。

此外,高纯氢也是一种重要的工业气体,它的应用领域非常广泛。在玻璃制造的高温加工过程和电子微芯片的制造中,高纯氢会加入氮气保护气中以去除残余的氧。同时,在石化工业中,氢气用于加氢处理以脱硫和进行氢化裂解来提炼原油。

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