高纯一氧化碳气体在半导体行业中有着重要的应用。特种气体,包括电子气体、高纯气体和标准气体,属于高技术、高附加值产品,在半导体和微电子工业中有着广泛的应用。其中,电子特种气体市场规模占比超过60%,主要应用于集成电路、液晶面板、LED、光伏电池等领域,纯度要求在5N及以上。

在半导体制造过程中,高纯一氧化碳气体可以用作刻蚀气体、掺杂气体、清洗气体等方面。例如,作为刻蚀气体,它可以用于去除表面氧化物和多晶硅;作为掺杂气体,它可以用于在半导体中引入掺杂物以改变其电性能;作为清洗气体,它可以用于去除表面污染物和杂质。

目前,应用于半导体产业的特种气体有110余种,常用的有20-30种,在原材料需求占比中高达14%,仅次于大硅片。作为不可或缺的关键材料,国内半导体行业快速发展,拉动了特气需求的大幅上升。预计到2024年,我国电子特气市场规模将达到230亿。

综上所述,高纯一氧化碳气体在半导体行业中起着关键的作用,并且随着半导体行业的持续发展,对高纯气体的需求也将持续增长。

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