电子级硅烷气体与半导体行业的不解之缘

先来说说，我们所说的电子级硅烷气是什么？

电子级硅烷气是一种电子特种气体,主要由硅粉、氢气、四氯化硅、催化剂等经过各种反应蒸馏、提纯而得。

纯度达到6N以上的称为电子级硅烷气。

电子级硅烷气体与半导体行业的不解之缘

电子级硅烷气主要应用于半导体行业，那么它都在此应用中发挥着什么作用？

电子级硅烷气是一种不可替代的特殊气体,主要用于在颗粒单晶硅、多晶硅的生产中,应用在半导体、光伏、显示面板等领域。 

电子级硅烷气在半导体中主要应用在化学气相沉积中,主要用于半导体、集成电路等生产。 

电子级硅烷气在集成电路制造中发挥着关键的作用,尤其在半导体薄膜沉积环节,这是形成薄膜的主要原材料之一。

在芯片制造过程中,需要使用到多种电子特气,其中包括硅烷等硅族气体、PH3等掺杂气体、CF4等蚀刻气体、WF6等金属气相沉积气体及其他反应气体和清洗气体等。

这些特种气体被广泛应用于硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等核心工艺环节中。

电子级硅烷气在光伏产业中，作用于光伏电池片生产减反射膜使用,对于光伏电池片的光吸收效率和电性能有重大影响。

硅烷气在集成电路上的市场情况如何？

中国集成电路市场规模持续攀升,在2020年达到1445亿美元。 

但实际上,2020年我国生产了230亿美元的集成电路产品,国内集成电路需求仍旧依赖进口,未来提升空间较大。 

受益于集成电路产业的发展,电子级硅烷气应用需求持续攀升,行业发展前景较好。

硅烷所代表的特种气体我国的市场情况如何？

在全球范围内,70%以上的电子特气被应用于集成电路领域,而在中国,这一比例为42%。

尽管目前在国内,集成电路的国产化进程仍然面临诸多挑战,但随着市场需求的不断增长以及技术实力的提升,电子级硅烷气在这一领域的应用预计将持续增长。

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