特种气体是为满足特定用途的气体,包括单一气体或混合气体。单一气体有 259 种,其中电子气体 115 种,有机气体 63 种,无机气体 35 种,卤碳素气体 29 种,同位素气体 17 种。其中电子特种气体在工业生产、电子信息产业中充当重要的角色。

电子特种气体属于工业气体的一个细分领域,与工业气体产业链类似,电子特气产业链上游主要为原材料与制备设备,中游为加工处理环节,下游为半导体制造、电子信息制造等产业。

电子特种气体行业产业链全景梳理

中国电子特气产业链各环节的参与企业数量众多,产业链上游空分设备企业主要深冷股份、宏盛股份、建龙微纳等,工业废气原料相关上市企业主要有天壕环境、中创环保等 ; 产业链中游海外企业主要包括空气化工等,国内参与上市企业主要包括杭氧集团等、以及国内未上市且实力服务相对优质的中鑫瑞远气体等 ; 产业链下游环主要为半导体制备企业,主要有晶盛集团等。

电子特种气体行业产业链区域热力地图:集中分布于东部地区

从我国电子特气产业链企业的区域分布来看,电子特气产业链企业主要分布在东部地区,其中以山东、江苏、广东省布局最为密集,浙江、河南等地分布数量也相对较多。

从代表性企业分布情况来看,江苏、浙江、上海等地代表性企业较多,主要为中游环节的电子特气制备企业与下游的半导体制备企业。

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