高纯气体的常见杂质有哪些？

常规杂质：H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O

特殊杂质：颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染

杂质来源：原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染

环境带入：空气组分（O2, N2, Ar, CO2），水分

生产装置，管路，充装装置带入：水分，金属元素，颗粒物，油份

生产工艺富集

包装污染

残气污染

包装本身带入污染：水分，金属元素，颗粒物

分解聚合污染

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