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电子混合气

电子混合气

产品分类: 电子混合气

    产品详情


    电子混合气体广泛应用于大规模集成电路(L.S.I)、超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生产)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类腐刻和离子注入等工艺中。


     序号                        中鑫瑞远电子混合气体汇总
         1二氯硅烷(DCS)5000ppm +N2;二氯硅烷(DCS) 15ppm + N2
         2二氯硅烷(DCS)10ppm + 三氯硅烷(TCS)10ppm +氦
         3HCI 50ppm + 二氯硅烷(DCS) 1000ppm +平衡He
         4硅烷1%+二氯硅烷(DCS)1%+三氯硅烷(TCS)1%+四氯化硅1%+氮
         5硅烷50ppm+三氯硅烷(TCS)1000ppm+He
         6三氯硅烷(TCS)15ppm+N2
         7乙硅烷(Si2H4) 100ppm ~ 200ppm + H2
         8乙硅烷 10ppm +He
         9CO2 5ppm + 硅烷 135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He
        10SiH4 5ppm ~ 15% +Ar(H2/N2/He)
        11H2 5ppm + Ar 5ppm + N2 5ppm + CO 5ppm + CH4 5ppm
    + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He
        12乙硼烷 50~ 100ppm + H2
        13砷烷 100ppm ~ 0.7% + H2
        14锗烷 1% ~ 10% + H2
        15三氯化硼 1% ~ 5% + N2 (He)
        16PH3 0.8ppm ~ 500ppm + He(H2)
        17HCI 9ppm ~ 50% + N2
        18NF3 99.99%  180g ~1500g
        19NF3 20ppm ~ 30ppm + Air
        20NF3 15ppm + N2
        21CF4 80% + O2
        22Ar 5ppm ~ 80% + Ne (H2/He/N2)
        23Kr 8% ~ 50% + Ar
        24Ne 80% ~ 97% + Ar



    电子混合气_01

    电子混合气_02

    电子混合气_03

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