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电子混合气
产品分类: 电子混合气
产品详情
电子混合气体广泛应用于大规模集成电路(L.S.I)、超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生产)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类腐刻和离子注入等工艺中。
序号 | 中鑫瑞远电子混合气体汇总 |
1 | 二氯硅烷(DCS)5000ppm +N2;二氯硅烷(DCS) 15ppm + N2 |
2 | 二氯硅烷(DCS)10ppm + 三氯硅烷(TCS)10ppm +氦 |
3 | HCI 50ppm + 二氯硅烷(DCS) 1000ppm +平衡He |
4 | 硅烷1%+二氯硅烷(DCS)1%+三氯硅烷(TCS)1%+四氯化硅1%+氮 |
5 | 硅烷50ppm+三氯硅烷(TCS)1000ppm+He |
6 | 三氯硅烷(TCS)15ppm+N2 |
7 | 乙硅烷(Si2H4) 100ppm ~ 200ppm + H2 |
8 | 乙硅烷 10ppm +He |
9 | CO2 5ppm + 硅烷 135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He |
10 | SiH4 5ppm ~ 15% +Ar(H2/N2/He) |
11 | H2 5ppm + Ar 5ppm + N2 5ppm + CO 5ppm + CH4 5ppm + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He |
12 | 乙硼烷 50~ 100ppm + H2 |
13 | 砷烷 100ppm ~ 0.7% + H2 |
14 | 锗烷 1% ~ 10% + H2 |
15 | 三氯化硼 1% ~ 5% + N2 (He) |
16 | PH3 0.8ppm ~ 500ppm + He(H2) |
17 | HCI 9ppm ~ 50% + N2 |
18 | NF3 99.99% 180g ~1500g |
19 | NF3 20ppm ~ 30ppm + Air |
20 | NF3 15ppm + N2 |
21 | CF4 80% + O2 |
22 | Ar 5ppm ~ 80% + Ne (H2/He/N2) |
23 | Kr 8% ~ 50% + Ar |
24 | Ne 80% ~ 97% + Ar |