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高纯气体的常见杂质有哪些?
创建时间:2024-01-19  浏览量:0

常规杂质:H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O


特殊杂质:颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染


杂质来源:原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染


环境带入:空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分


生产装置,管路,充装装置带入:水分,金属元素,颗粒物,油份


生产工艺富集


包装污染


残气污染


包装本身带入污染:水分,金属元素,颗粒物


分解聚合污染


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