电子特气是电子工业的关键原料，是名副其实的电子工业“血液”，贯穿着半导体各步工艺制程。它的纯度和洁净度直接会影响到光电子、微电子元器件的质量、性能、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体，据统计，目前常用的电子气体纯气有60多种，混合气80多种，按其门类可分为纯气，高纯气和半导体

特殊材料气体三大类。主要应用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、外延生长、离子注入、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节。电子气体对于半导体集成电路芯片的质量和性能具有重要意义。

随着半导体集成电路技术的发展，对电子气体的纯度和质量要求越来越高，电子气体目前发展目标是增加品种、增加产量、提高国产化率，并向完成 对特气生产及应用的全套技术开发的目标努力，技术包括：高危、易燃易爆、腐蚀性、剧毒气体纯化、监测、充装、输送、贮存技术，以及安全、环保技术、现场配